早在1738年，瑞士人丹尼爾**伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ)利用差壓法測(cè)量水流量。后來(lái)意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管測(cè)量流量，并于1791年發(fā)表了研究結(jié)果。1886年，美國(guó)人C.赫謝爾用文丘里管制成測(cè)量水流量的實(shí)用裝置20世紀(jì)初期到中期,原有的測(cè)量原理逐漸成熟,人們開(kāi)始探索新的測(cè)量原理自1910年起美國(guó)開(kāi)始研制測(cè)量明溝中水流量的槽式流量計(jì)。1922年，R.L.帕歇爾將原文丘里水槽改革為帕歇爾水槽（于1929年為美國(guó)土木工程師協(xié)會(huì)所命名）。1911～1912年,美籍匈牙利人T.von卡門(mén)提出卡門(mén)渦街的新理論。30年代出現(xiàn)探討用聲波測(cè)量液體和氣體的流速的方法，但到**次世界大戰(zhàn)為止未獲很大進(jìn)展，直到1955年才有應(yīng)用聲循環(huán)法（兩組型）的馬克森流量計(jì)，用于測(cè)量航空燃料的流量。
1945年，A.科林用交變磁場(chǎng)成功地測(cè)量了血液流動(dòng)的情況。60年代以后，儀表向精密化、小型化等方向發(fā)展。例如，為了提高差壓儀表的**度而出現(xiàn)力平衡差壓變送器和電容式差壓變送器；為使電磁流量計(jì)的傳感器小型化和改善信噪比而出現(xiàn)用非均勻磁場(chǎng)和低頻勵(lì)磁方式的電磁流量計(jì)。
隨著集成電路技術(shù)的迅速發(fā)展，具有鎖相環(huán)路技術(shù)的超聲（波）流量計(jì)也得到了普遍應(yīng)用。微型計(jì)算機(jī)的廣泛應(yīng)用，進(jìn)一步提高了流量測(cè)量的能力，如激光多普勒流速計(jì)應(yīng)用微型計(jì)算機(jī)可處理較為復(fù)雜的信號(hào)。
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