質(zhì)量流量控制器是用來(lái)對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行進(jìn)行精密測(cè)量與控制的一種儀器，他大量用于電子工藝設(shè)備中，如擴(kuò)散，氧化，外延，CVD，等離子刻蝕等，以及鍍膜設(shè)備，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等行業(yè)。 質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC)，它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
技術(shù)參數(shù)：
流量規(guī)格：0~330sccm(mL/MIN)
準(zhǔn)確度：±0.2%F.S
線性：±0.1%F.S
重復(fù)精度：±0.1%F.S
工作壓差范圍：0~0.45MPa
*大耐壓：1MPa
工作環(huán)境溫度：0~65℃
電氣連接：DB9
輸出信號(hào)：RS232、RS485、CAN、(RS485及CAN帶電氣隔離）
電源：15~40VDC
標(biāo)準(zhǔn)氣路接頭：M8*1
氣路管徑：3.2mm
可以測(cè)量的氣體類別：Ar、N2、O2、Air、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2
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