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氦質(zhì)譜檢漏儀,EBARA真空泵,普發(fā)檢漏儀,普發(fā)真空泵,inficon,壓力控制器
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MKS系列產(chǎn)品
更詳細(xì)的產(chǎn)品分類
MKS質(zhì)量流量計(jì)
MKS電源
MKS其他產(chǎn)品
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產(chǎn)品簡(jiǎn)單介紹
質(zhì)譜分析儀
Micro Vision2 產(chǎn)品的技術(shù)是基于MKS殘余氣體分析質(zhì)譜傳感頭和氣體監(jiān)控系統(tǒng)的核心技術(shù),利用*先進(jìn)的射頻電路模塊和數(shù)據(jù)采集電路模塊,具有**的性能,為要求*嚴(yán)格的應(yīng)用所需,雙CPU提供了高穩(wěn)定的運(yùn)行,快速和寬范圍的動(dòng)態(tài)掃描,使得工藝偏差和氣體成分改變的監(jiān)測(cè)變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能,易與機(jī)臺(tái)和其他傳感器連接。質(zhì)量數(shù)范圍:1-300可選,雙檢測(cè)配置。 eVision 2 基于以太網(wǎng)的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過EasyView軟件方便地操作系統(tǒng)。質(zhì)量數(shù)范圍:1-200可選,雙檢測(cè)器配置可選。
MASS-FLO系列金屬密封質(zhì)量流量控制器
MASS-FLO系列金屬密封質(zhì)量流量控制器
ENI射頻電源阻抗匹配器
ENI射頻電源阻抗匹配器
臭氧發(fā)生器
SEMOZON 臭氧發(fā)生器以及集成系統(tǒng) LIQUOZON Smart臭氧水循環(huán)系統(tǒng)
反應(yīng)氣體發(fā)生器
ASTRON系列遠(yuǎn)程等離子體電源
MKS 質(zhì)量流量計(jì)
MKS 質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量,通過分體分子帶走的分子質(zhì)量多少從而來測(cè)量流量,因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量,所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。
DELTA //流量比例控制器
DELTA //流量比例控制器
Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗(yàn)器
Tru-Flo質(zhì)量流量檢驗(yàn)器
以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器
以壓力為基礎(chǔ)的流量控制器
MASS-FLO 系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
MASS-FLO系列橡膠密封質(zhì)量流量控制器
MF1系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。
General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 精度為設(shè)定值的正負(fù)1%,響應(yīng)速度快于500毫秒,不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字(RS-485,DeviceNet,Profibus)通訊接口可選。
金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器
新一代多氣體/多量程數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 實(shí)時(shí)高精度流量控制是基于先進(jìn)的數(shù)字算法技術(shù),提供精度為設(shè)定值的正負(fù)1%,相應(yīng)速度快于500毫秒,不同氣體及量程間自由切換的優(yōu)異功能。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字(RS-485,DeviceNet,Modbus/TCP)通訊接口可選。 ALTA 系列金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器。精度為設(shè)定值的正負(fù)1%,相應(yīng)速度快于1秒,不同氣體及量程間自由切換。各種模擬和數(shù)字(Profibus,DeviceNet)通訊接口可選。
MKS電源-直流/脈沖功率電源
ENI直流/脈沖電源主要應(yīng)用于半導(dǎo)體,光電器件,磁盤,平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。
MKS電源-射頻功率電源
ENI提供高可靠性的固態(tài)電源,其頻率從2MHz到60MHz,功率從3百瓦到13千瓦,還可選自動(dòng)頻率跳鞋,廣泛應(yīng)用于Etch,CVD和PVD等工藝。
MKS電源-等離子體電源
ASTeX 遠(yuǎn)程等離子體電源適用于氧氣,氮?dú)猓瑲錃?,水汽等氣體,廣泛應(yīng)用于CVD,ETCH,去膠等晶圓工藝。
各種真空計(jì)
各種真空計(jì)
壓力傳感器/質(zhì)量流量控制器電源和顯示儀
壓力傳感器/質(zhì)量流量控制器電源和顯示儀
產(chǎn)品目錄
真空設(shè)備研發(fā)制造
各類真空系統(tǒng)
各類CVD /PVD設(shè)備
普發(fā)真空系列產(chǎn)品
普發(fā)真空泵
普發(fā)檢漏儀
MKS系列產(chǎn)品
MKS質(zhì)量流量計(jì)
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MKS其他產(chǎn)品
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EBARA真空泵(EBARA Vacuum Pump)
Ebara真空泵
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