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產(chǎn)品資料
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General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品名稱: General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品展商: MKS
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簡(jiǎn)單介紹

通用數(shù)字質(zhì)量流量控制器。 精度為設(shè)定值的正負(fù)1%,響應(yīng)速度快于500毫秒,不同氣體以及量程間自由切換。 Ethernet用戶通訊口方便地用于設(shè)置和診斷。各種模擬和數(shù)字(RS-485,DeviceNet,Profibus)通訊接口可選。

General系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器的詳細(xì)介紹
  • GE50A 橡膠密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從10sccm-50slm。
  • GM50A 金屬密封數(shù)字質(zhì)量流量控制器,滿量程范圍從10sccm-50slm。
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